矽片稱重(zhong)設備是(shi)半(ban)導(dao)體(ti)、光(guang)伏(fu)等(deng)行業(ye)中用於精(jing)確(que)測量(liang)矽片質量的(de)關鍵(jian)設備,其精(jing)度(du)和(he)穩(wen)定(ding)性(xing)直接(jie)影(ying)響(xiang)生產(chan)效率(lv)和(he)產(chan)品質量。以(yi)下從(cong)設備類型、選(xuan)型要(yao)素兩方面(mian)詳細(xi)說明:
壹(yi)、矽片稱重(zhong)設備的(de)主(zhu)要類型
根(gen)據應用場(chang)景、精(jing)度(du)要(yao)求和(he)自(zi)動(dong)化(hua)程(cheng)度(du),矽片稱重(zhong)設備可(ke)分(fen)為(wei)以(yi)下幾(ji)類(lei):
1. 實驗室(shi)級(ji)精(jing)密(mi)天(tian)平
特(te)點:精(jing)度(du)(通(tong)常(chang)達(da) 0.01mg~1mg),適(shi)用於小批量、高(gao)精(jing)度(du)的(de)矽片質量檢(jian)測,如(ru)研(yan)發階(jie)段的(de)樣(yang)品分析。
典(dian)型設備:
分析天(tian)平:采用電磁(ci)力平衡原(yuan)理,支持防風(feng)罩(zhao)設計(ji),減少環境(jing)幹(gan)擾(rao)。
微量(liang)天(tian)平:針對(dui)超薄(bo)矽片(如(ru)厚度(du)<100μm)或(huo)小尺(chi)寸矽片(如(ru)直徑(jing)<50mm),精(jing)度(du)可(ke)達(da) 0.1μg。

2. 生產(chan)線(xian)在(zai)線(xian)稱重(zhong)設備
特(te)點:集成(cheng)於生產(chan)流(liu)水線(xian),實現(xian)矽片稱重(zhong)的(de)自(zi)動(dong)化(hua)、高(gao)速(su)化(hua),適(shi)配大批量生產(chan)。
典型設備:
自(zi)動(dong)化(hua)稱重(zhong)模(mo)塊:搭配傳送(song)帶(dai)、機(ji)械臂,可(ke)自(zi)動(dong)完(wan)成(cheng)矽片上料、稱重(zhong)、下(xia)料,稱重(zhong)速(su)度(du)可(ke)達(da) 100~500 片(pian) / 分(fen)鐘(zhong)。
稱重(zhong)分(fen)選(xuan)機(ji):在稱重(zhong)同(tong)時對矽片按質量區(qu)間(jian)分選(xuan),常(chang)用於光伏(fu)矽片的(de)等(deng)級(ji)劃分(fen)。

3. 專(zhuan)用矽片稱重(zhong)系(xi)統
特(te)點:針對(dui)矽片特(te)性(xing)(如(ru)薄(bo)片易(yi)變形、表面潔凈(jing)度(du)要(yao)求高(gao))定制(zhi)設計(ji)。
核心功(gong)能(neng):
非(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)輔(fu)助(zhu)支撐(cheng)(如氣流(liu)懸(xuan)浮(fu)),避免(mian)矽片損(sun)傷(shang)。
防汙染(ran)結構(如不(bu)銹(xiu)鋼(gang)材質、防靜(jing)電(dian)塗(tu)層),適配(pei)半(ban)導(dao)體(ti)級(ji)矽片。
數(shu)據自(zi)動(dong)記(ji)錄(lu)與追(zhui)溯(對接(jie) MES 系(xi)統(tong)),滿足行(xing)業(ye)溯源要(yao)求(qiu)。
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